TFT技術是二十世紀九十年代發(fā)展起來的,采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導體全集成電路制造技術,是液晶(LC)、無機和有機薄膜電致發(fā)光(EL和OEL)平板顯示器的基礎。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當然也可以在晶片上)通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過對膜的加工制作大規(guī)模半導體集成電路(LSIC)。采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)開關性能的TFT比在硅片上制造大規(guī)模IC的技術難度更大。對生產環(huán)境的要求(凈化度為100級),對原材料純度的要求(電子特氣的純度為99.999985%),對生產設備和生產技術的要求都超過半導體大規(guī)模集成,是現(xiàn)代大生產的頂尖技術。其主要特點有:
(1)使用特性好:低壓應用,低驅動電壓,固體化使用安全性和可靠性提高;平板化,又輕薄,節(jié)省了大量原材料和使用空間;低功耗,它的功耗約為CRT顯示器的十分之一,反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右,節(jié)省了大量的能源;TFT-LCD產品還有規(guī)格型號、尺寸系列化,品種多樣,使用方便靈活、維修、更新、升級容易,使用壽命長等許多特點。顯示范圍覆蓋了從1英寸至40英寸范圍內的所有顯示器的應用范圍以及投影大平面,是全尺寸顯示終端;顯示質量從最簡單的單色字符圖形到高分辨率,高彩色保真度,高亮度,高對比度,高響應速度的各種規(guī)格型號的視頻顯示器;顯示方式有直視型,投影型,透視式,也有反射式。
(2)制造技術的自動化程度高,大規(guī)模工業(yè)化生產特性好。TFT-LCD產業(yè)技術成熟,大規(guī)模生產的成品率達到90%以上。
(3)TFT-LCD易于集成化和更新?lián)Q代,是大規(guī)模半導體集成電路技術和光源技術的完美結合,繼續(xù)發(fā)展?jié)摿艽?。目前有非晶、多晶和單晶硅TFT-LCD,將來會有其它材料的TFT,既有玻璃基板的又有塑料基板。
(4)環(huán)保特性好:無輻射、無閃爍,對使用者的健康無損害。特別是TFT-LCD電子書刊的出現(xiàn),將把人類帶入無紙辦公、無紙印刷時代,引發(fā)人類學習、傳播和記栽文明方式的革命。
(5)適用范圍寬,從-20℃到+50℃的溫度范圍內都可以正常使用,經過溫度加固處理的TFT-LCD低溫工作溫度可達到零下80℃。既可作為移動終端顯示,臺式終端顯示,又可以作大屏幕投影電視,是性能優(yōu)良的全尺寸視頻顯示終端。
(6)低成本:玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規(guī)模半導體集成電路的成本問題,為大規(guī)模半導體集成電路的應用開拓了廣闊的應用空間。
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